LTCC (. 3) , , . . . , . , , .
. 3
, , 60-70 , 450-500O 2-2,5 , 850O 10 (. 4). (, ). LTCC , . , () .
LTCC . , .
, , 9-15% ( X, Y) 10-30% , ( Z). LTCC, / . , .
. 4
, LTCC , , , , . LTCC , . LTCC , , . , , LTCC , .
(. 5), , . LTCC . , , .
|
|
. 5
(Al2O3, Si2O3, PbO ..). (, ..) . , .
LTCC (. 6). k . k k. , GaAs .
, .
. 6 (Ferro 6-S)
, , LTCC . , ( , ). . LTCC . . , . , , LTCC , / .
LTCC . , , , 1 . LTCC ( + ). , , . , , (2,3 - 1,6 - ). , , LTCC . , . . , . , ( ). , .
|
|
LTCC , . 10 10000 / 10% 200106 C1. 5 2000, 10 , . , . LTCC .