- 100 . , , . 1 100 . , , , . , , . , , . , . . . 3 : , , ; , , CVD, ALD, ; ( , ). , 50 , ; CVD ALD . . , . ́ , , , , . - , , . , . , . , 2004 . , . . , , . , , , . ) , . - , .
: |
. . . . . . .
- 100 . , , . 1 100 . , , , . , , . , , . , . . . 3 : , , ; , , CVD, ALD, ; ( , ). , 50 , ; CVD ALD . . , . ́ , , , , . - , , . , . , . , 2004 . , . . , , . , , , . ) , . - , .
: 2016-11-19; !; : 452 | : : , . |