, .., .., .., .. , WF6, SF6, SiCl4, CCl4 . (0,02-0,5 %) 3 10-15 %, .2.2.
.
.2.2.
, % | , 2 | |
Ar Ar + BF3 Ar + CCl4 Ar + WF6 | 11,6 14,5 13,8 15,2 |
, .
- , . , , 45 1,2-2,5 . , , , , : ,->,->->. , .
100 , 107 º \, 106 º \. 10 , . , [8]
(2.11)
. [7], .
- , , [7,9]
(2.12)
- ;
,z - ;
t - ;
- ;
g - ;
|
|
λ,α - ,;
υ - .
:
(2.13)
W = dT / dt
, , υ<3\ [10]
(2.14)
r - ;
ξ - ().
(2.12 2.14) , , 104 106 º \.
X, , - . , , , . . , , . , . , . . , Zmax , [1,7]. , Z= 0, :
(2.15)
Z - ;
ierfc - ;
τ - ;
r - ;
, λ - . 0 < 1 < τ (2.5) [1,7]
(2.16)
W :
g - (),
τ- ,
d - .
, τn √at
(2.17)
Z - T(z,t);
(2.17)
.
(2.18)
Z ≈ 2 √a τ / π - λ / W
, ( ) () . - .
|
|
, , gm,
(2.19)
g= √ π / 4 at
α -;
- ;
t - .
()
(2.20)
t = d / υ,g = gn / S
d - ;
υ - , ;
gn - , ;
S - , .
, , !
(2.21)
≤
, (2.19) (2.21),
(2.22)
g√t ≤ √ π / 4 a
, .
r, υ f 2d υ, . 2.2.
.2.2. () () .
, 2r * 2 d, υ,
:
t1=2r/υ (2.23)
: g = g / 4rd
g - .
(2.22) , , :
(2.24)
g√ t1 = √π / 4
, 2r, , :
(2.25)
t2 = 2(2 r / 4df) = r/df
2 , , . :
(2.26)
g2 = gn / πr2
:
(2.27)
g2 √ τ2 g1 √τ1 ≤ √π / 4
(2,28)
√ d /f πr√8υ
(2.28) , , . , ( , .) , , , () .
9 . [10, 12 - 14] . [12] :
gs - ;
α, λ- ;
τ - ;
h- .
:
- ;
- .
:
|
|
- ;
υ - ;
d- ;
ρ - ;
- ;
Q- ;
- , .
:
[13]
h = / (dc υ )0,4
- ;
d - ;
υ - .
.., .., .., .., .. , . . 9, 40, 8, 12, , , , . :
HWmax = f (g, υ, );h = f2(g, υ, )
:
HVmax = 10-3 ﴾ -0.308271 υ2+1.23441g2+12.792a2+1.71723 υg- 1.54273 υC 1.7919 υ+ 0.36981g-18.2439C+11,223)
h max = 262.506υ2 +50.3667g2 +1466.7292 +107.754υg + 53.1505υα - 47.1105g -
- 938.111υ + 199.495g 5.6734 + 686.691
, , , , , , .2.3., 2.4.
.2.3
HWmax, (g, υ, )
V, /c | g, /2 | C,% | HV, | HV, | |
1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. 8. 9. 10. | 2,5 2,5 2,5 2,5 | 0,05 1,05 0,9 0,9 0,45 0,6 0,45 0,75 0,6 0,9 |
.2.4.