.


:




:

































 

 

 

 


; 3-




, .., .., .., .. , WF6, SF6, SiCl4, CCl4 . (0,02-0,5 %) 3 10-15 %, .2.2.

 

.

.2.2.

, % , 2
Ar Ar + BF3 Ar + CCl4 Ar + WF6   11,6 14,5 13,8 15,2

, .

- , . , , 45 1,2-2,5 . , , , , : ,->,->->. , .

100 , 107 º \, 106 º \. 10 , . , [8]

(2.11)

. [7], .

- , , [7,9]

(2.12)

 

- ;

,z - ;

t - ;

- ;

g - ;

λ,α - ,;

υ - .

 

:

(2.13)

W = dT / dt

, , υ<3\ [10]

(2.14)

r - ;

ξ - ().

(2.12 2.14) , , 104 106 º \.

X, , - . , , , . . , , . , . , . . , Zmax , [1,7]. , Z= 0, :

(2.15)

 

 

Z - ;

ierfc - ;

τ - ;

r - ;

, λ - . 0 < 1 < τ (2.5) [1,7]

(2.16)

 

W :

 

g - (),

τ- ,

d - .

, τn √at

(2.17)

 

Z - T(z,t);

(2.17)

.

(2.18)

Z ≈ 2 √a τ / π - λ / W

 

, ( ) () . - .

, , gm,

(2.19)

g= π / 4 at

α -;

- ;

t - .

()

(2.20)

t = d / υ,g = gn / S

 

d - ;

υ - , ;

gn - , ;

S - , .

, , !

(2.21)

 

, (2.19) (2.21),

(2.22)

g√t π / 4 a

 

, .

r, υ f 2d υ, . 2.2.

 

 

 

.2.2. () () .

, 2r * 2 d, υ,

:

t1=2r/υ (2.23)

 

: g = g / 4rd

g - .

(2.22) , , :

 

(2.24)

g√ t1 = √π / 4

 

, 2r, , :

(2.25)

t2 = 2(2 r / 4df) = r/df

 

2 , , . :

(2.26)

g2 = gn / πr2

:

(2.27)

g2 √ τ2 g1 √τ1 √π / 4

(2,28)

√ d /f πr√8υ

 

(2.28) , , . , ( , .) , , , () .

9 . [10, 12 - 14] . [12] :

 

gs - ;

α, λ- ;

τ - ;

h- .

:

 

- ;

- .

:

 

- ;

υ - ;

d- ;

ρ - ;

- ;

Q- ;

- , .

:

 

 

[13]

h = / (dc υ )0,4

- ;

d - ;

υ - .

.., .., .., .., .. , . . 9, 40, 8, 12, , , , . :

HWmax = f (g, υ, );h = f2(g, υ, )

:

 

HVmax = 10-3 -0.308271 υ2+1.23441g2+12.792a2+1.71723 υg- 1.54273 υC 1.7919 υ+ 0.36981g-18.2439C+11,223)

 

h max = 262.506υ2 +50.3667g2 +1466.7292 +107.754υg + 53.1505υα - 47.1105g -

- 938.111υ + 199.495g 5.6734 + 686.691

, , , , , , .2.3., 2.4.


.2.3

HWmax, (g, υ, )

V, /c g, /2 C,% HV, HV,
           
1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. 8. 9. 10. 2,5 2,5 2,5 2,5   0,05 1,05 0,9 0,9 0,45 0,6 0,45 0,75 0,6 0,9    

 

.2.4.





:


: 2015-05-07; !; : 572 |


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, ,
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