. : . . .
. . . : ( - ), (- ) () . , .
, . . : , , . . ( ) . .
0,1-2 . (, , .) ( 100 1200 ).
() . , . . , 200300 [60].
. , .. ( , ..) , .
. .
. . , . , .
|
|
- ( 10 300 / Ti2 1050 975 ;
- ;
- .
- ( ).
. , . . 400 , , 700 350 , 1,2 80 . , . 3.1. .
. 3.1. , : 1- , 2- , 3- , 4- , 5- , 6- , 7- , 8- , 9- , 10- .
. () . 300 2000 . - . , .
, . , . - .
, , . -, ( 900 ). - , -. , , . 100% .
|
|
, . . , , , .
(, , ), . ( ). , . ( , , . 10 . . , . , .
. , . , , , .
-, - . , . , .
. - (MBE Molecular Beam Epitaxy) - (MOVPE Metalorganic Vapor Phase Epitaxy), - .
MBE (P<10-7 ). MBE . MBE . 3.2.
. 3.2. . : 1 - , 2 - , 3 - , 4 - , 5 -
( ) (4, 5) (2). (4), (5). MBE: I ; II , ; III .
|
|
MBE . -, (3). -, , . . MBE- , : , , .
MBE , , . MBE .
, MBE, (MOVPE). , - --, . , , , . , , ( ) , . MOVPE- . 3.3.
.3.3. MOVPE: 1 - , 2 - - , 3 - , 4 - , 5 - (), 6 - (). v T .
MOVPE , .. . MOVPE MBE , .
[41].
() () - () . - . , . ( 1 ). .
, , , . . (25-400º), . MBE, .. . .
|
|
. , . , , . , , :. , .
, , . , . , - , , .
, , .. , , , , , ; ; , .
- , (, ), (. 3.4) . .. .
, , - .
. 3.4.
, , .
1889 1- , . , 1/40 000 000 .. - 0,1 -.
, , , . 1960 XI :
, 1 650 763,73 , 2𝑝10 − 5𝑑5 86. ( 6). 0,01 .
1997 9- HeNe/I2 : 𝜈 = 473612214705 , 𝜆 = 632,99139822 . 10−11 .
, .
, , , , , , . , , , () , 𝐷 ~ 5 , 𝑉 ~ 10−19 3. 𝑛 ~ 1023 −3, 𝑛𝑉 ~ 104 . 𝑛 ~ 1020 −3, , 𝑛𝑉 ~ 10. 𝑛 ~ 1014 −3 , 𝑛𝑉 ~ 10−5 , , , , . , .
|
|
11000 (. 3.4). : 11000 , ; , 11000 0,5 ; 11000 , ; - .
-
(. 10), (. 3.4) . ( ), () . 101500 1001500 . ( ), , , , .
-
4
, , , , . .
, , . . . , . . 1985 . , 5 ., ( ) (. 4.1).
, , 60 70 - C60 C70. C60 , C70 - (. 4.1).
, , . . , , , .
. , - . , . . , - .
( ). .
. 4.1. : ) C60, ) C70, ) , 100 .
, , . .
( 104 ) . (, ). () ( 25) (C60 C70). , , . , , . (100 ). .
( 200 - 600 ) , GaAs (. 4.2). 60 99,98% CdTe 1 300 . 10-6 160 . .
. 4.2. 60 - 40% CdTe
- , . 60 - . - . . . , CdSe CdTe.
(. 4.3).
)
.4.3. : ) , ), ) [4].
, .. . , , , . , . , , . . .
, . , , ( ). . , , . , . , , .
. 4.4. : 1- , 2- , - .
. 4.5. InAs, GaAs, . |
. 4.6 3 , . |
. , , , (. 4.5).
, , () . .
(. 4.4). . , . 3 20-60 . , . , . , -.
. . , InGaAs.
- (. 4.5). , Si+SiO2, Si+Fe2O3, Ge+SiO2, Ge+GeO2 SiO2 .
, - . , ..
. 4.7. : - , - , - . |
. 4.8. SiO2, . |
5
-, , , .